​Найден способ создавать сверхтонкие элементы наноэлектроники при помощи лазерных лучей в форме бублика. Новая технология поможет уменьшить элементы на микросхемах до размеров нескольких десятков атомов, что в десять раз меньше, чем возможно сегодня. Работа была выполнена при поддержке гранта Российского научного фонда. Результаты исследования опубликованы в журнале Applied Physics Letters.

Для создания микросхем с нанометровыми элементами используют специальные зеркала, фокусирующие рентгеновское излучение. Чтобы сделать элементы размером менее 20 нм, нужно использовать излучение с еще меньшей длиной волны. Однако фотоны такого излучения несут очень большую энергию и неминуемо портят зеркало. Ученые из Института теоретической физики имени Л.Д. Ландау совместно с зарубежными коллегами определили, какие процессы происходят с поверхностью зеркала из нескольких слоев хрома и золота при «бомбардировке» высокоэнергетическими фотонами.

Физики использовали так называемый вихревой луч, яркость которого распределена по кольцу вокруг его оси, то есть в форме бублика. В более ранних работах было показано, что обычный луч с максимумом яркости на центральной оси пучка выбивает из зеркала несколько слоев хрома и золота, оставляя на месте воздействия своего рода кратер, похожий на те, что оставляют упавшие на Землю метеориты. Когда экспериментаторы облучили зеркало вихревым лучом, на поверхности вместо типичного кратера образовалась кольцевая выемка с тонкой микроиглой, возвышающейся в центре.

«Это выглядело непонятным, как будто вещество из выемки собралось в центральной игле, там где интенсивность пучка была очень малой, Чтобы объяснить результат эксперимента, мы рассчитали траектории всех атомов хрома и золота, которые подверглись воздействию луча – это примерно 100 млн атомов», — рассказал один из авторов исследования, Василий Жаховский, научный сотрудник ИТФ имени Л.Д. Ландау.

Оказалось, что в месте наибольшей интенсивности пучка – то есть по кольцу – резко растут температура и давление. Максимальное давление достигает 200 тысяч атмосфер — такие условия характерны для детонации небольшой атомной бомбы. Это колоссальное давление возникает на несколько пикосекунд в очень маленьком пространстве кольца диаметром всего 2 микрометра. В таких экстремальных условиях вещество зеркала плавится и стремится расшириться. Однако золото и хром нагреваются неодинаково, поэтому слои разных металлов по-разному участвуют в этом процессе.

"Получается что-то похожее на сильно накачанное колесо, внутри которого под эластичной покрышкой из расплава хрома находится золотой пар под огромным давлением", - добавил ученый.

При этом в центре пятна, где интенсивность луча близка к нулю, остается холодный "остров", над которым образуется тонкая струя из чистого хрома. Так как слой прогрева небольшой, вся система быстро остывает, и струя затвердевает. В результате формируется микроигла. Таким образом, ученые объяснили, почему при воздействии вихревого луча лазера на зеркале образуются мироиглы, а не кратеры. Новая работа показала, что, используя лазер лучом-бубликом и многослойные подложки, можно получать весьма сложные наноэлементы. Описанная технология позволяет производить микросхемы с элементами толщиной 2-4 нм, то есть в несколько атомов. Кроме того, регулируя параметры лазерного воздействия, можно получать элементы различного химического состава.

Источники

Луч-бублик поможет создать наноиглы для миниатюрной электроники
Российский научный фонд (rscf.ru), 05/06/2018

Похожие новости

  • 14/05/2018

    Ученые знают, как заставить проводник из графена лучше работать

    ​Графен – очень хороший проводник и перспективный материал, обладающий необычными свойствами. Сегодня ученые могут изготавливать уникально чистые образцы графена, которые содержат всего несколько примесей, мешающих его работе.
    97
  • 15/05/2018

    Российские ученые обнаружили аномалии в изменении теплоемкости кристаллов

    ​Российские ученые из МГТУ им. Н.Э. Баумана и Института физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина РАН исследовали необычное увеличение теплоемкости кристаллов, которое проявляется, если между частицами действуют силы с ограниченным радиусом действия.
    173
  • 19/01/2018

    В России создаются двигатели для гиперзвуковых ракет будущего

    ​Прошли успешные испытания так называемых детонационных ракетных двигателей, давшие очень интересные результаты. Опытно-конструкторские работы в этом направлении будут продолжены. Детонация - это взрыв.
    549
  • 15/05/2018

    Новый российский гибридный реактор соберут в Курчатовском институте к концу года

    ​Гибридный реактор, который может в перспективе заменить АЭС, ученые научно-исследовательского центра Курчатовский институт соберут к концу 2018 года, физический пуск установки запланирован на 2020 год.
    127
  • 08/06/2017

    Объявлены лауреаты Госпремии 2016 года за выдающиеся достижения в области науки и технологий

    ​​Объявлены лауреаты Государственной премии Российской Федерации 2016 года за выдающиеся достижения в области науки и технологий. Указ об этом опубликован на официальном сайте Президента РФ. Госпремию вручат нефтяникам, врачам и астрофизикам​.
    1206
  • 20/01/2017

    В ФАНО прошло заседание Межведомственного совета КПНИ по новым технологичным материалам

    ​​В канун Нового 2017 года, в Федеральном агентстве научных организаций прошло первое заседание Межведомственного Совета (МВС) по вопросам, связанным с формированием и реализацией комплексного плана научных исследований "Перспективные материалы с многоуровневой иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций" (КПНИ).
    1350
  • 27/12/2017

    Исследователи реализуют проект, позволяющий исправлять мутации ДНК митохондрий

    ​В последнее время все чаще можно услышать о тяжелых наследственных заболеваниях митохондриальной этиологии. Эти недуги вызываются дефектами митохондрий, которые являются своеобразными "энергетическими станциями" клеток организма.
    568
  • 22/07/2016

    Новосибирские и московские физики получили случайную генерацию в висмутовых волоконных световодах

    В журнале Scientific Reports группы Nature опубликована статья российских физиков. В ней впервые продемонстрирован случайный волоконный лазер на основе висмутового активного световода, имеющий уникальные выходные характеристики.
    1246
  • 18/08/2017

    Российские и французские ученые разработали уникальный детектор нейтронов

    ​Ученые из Объединенного института ядерных исследований вместе с коллегами из Орсе (Франция) разработали уникальный детектор нейтронов и с его помощью определили вероятность радиоактивного (нейтронного) распада атомных ядер легких химических элементов.
    500
  • 28/03/2018

    Российские химики раскрыли механизм важнейшей для промышленности реакции

    ​Механизм важнейшей окислительной реакции Байера-Виллигера, известной больше ста лет, раскрыт международной группой ученых. Реакция является универсальным путем получения эфиров органических кислот - базовых соединений для химической промышленности.
    194