Диоксид титана - природное соединение, встречающееся в виде трех модификации. Внимание исследователей к оксиду титана объясняется его свойствами, благодаря которым он может использоваться в микроэлектронике. В частности, для создания диэлектрических пленок в интегральных микросхемах, без которых сегодня не обходится ни одно микроэлектронное устройство. Изучение пленок оксида титана усложняется их существованием как в кристаллическом, так и в аморфном состоянии, и даже сочетанием эти двух фаз в пределах одной пленочной структуры.

Ученые Тюменского госуниверситета в сотрудничестве с учеными Института физики полупроводников имени А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирского госуниверситета и Национального университета Чао Тун изучили микроструктурные и оптические свойства пленок диоксида титана. Для достижения цели авторы использовали целый комплекс передовых методов, включая дифракцию быстрых электронов, рентгеновскую дифрактометрию, атомно-силовую микроскопию и спектральную эллипсометрию.

Результаты показали, что пленки оксида титана, полученные методом электронно-лучевого распыления, только в течение короткого времени распыления находятся в аморфном состоянии. В свою очередь, для относительно толстых пленок рентгеновская дифрактометрия показала наличие фазы анатаза. Использование атомно-силовой микроскопии показало, что длительное распыление позволяет добиться большей упорядоченности структуры. Несмотря на это, общий характер микрорельефа в зависимости от длительности распыления пленок оксида титана не менялся. Оптические свойства полученных пленок оксида титана, по мнению авторов, хорошо описываются в рамках отражательной модели трехслойной структуры.

Авторы подчеркивают, что рассмотренные пленки оксида титана могут использоваться для изготовления микроэлектронных структур, а указанные методы исследования позволяют контролировать свойства таких пленок при изменении толщины. Статья об этом вышла в "Journal of Electronic Materials".

Источники

Ученые ТюмГУ изучили оптические свойства пленок диоксида титана
Тюменский государственный университет (utmn.ru), 07/11/2017

Похожие новости

  • 24/10/2017

    ТюмГУ примет олимпиаду «Технологическое предпринимательство»

    Новые технологии, прикладные биотехнологии, IT, авиатехнологии и ресурсосбережение – каждый из них включает в себя сразу несколько предметов школьной программы, в каждом есть непростые задачи.  Профиль «Новые технологии» ориентирован на тех, кто в будущем намерен заниматься исследованиями современного станко- и машиностроения, изобретать новые средства производства, разрабатывать уникальное оборудование, предлагать революционные методы развития высокотехнологичного производства.
    82
  • 16/11/2017

    Тюменские ученые создали экологичный материал для строительства дорог в Арктике

    ​Ученые Тюменского индустриального университета (ТИУ) совместно с коллегами из Института криосферы Земли Сибирского отделения РАН создали экологичный материал для строительства дорог, который можно использовать для борьбы с пучинистостью, то есть с явлением, при котором грунт увеличивается в объеме из-за замерзания содержащейся в грунте влаги.
    53
  • 04/10/2016

    В Airbus Safran Launchers заинтересовались созданным в Томске наноматериалом

    ​Airbus Safran Launchers (совместное предприятие авиакосмического концерна Airbus Group и французской корпорации Safran) заинтересовалась разработанной в Томском госуниверситете технологией получения наноматериала - легкого, как алюминий, и прочного, как сталь, сообщил завлабораторией высокоэнергетических и специальных материалов ВУЗа Александр Ворожцов.
    739
  • 07/08/2017

    Магистрант ТПУ будет разрабатывать алгоритмы для работы с большими данными

    ​Абитуриент Томского политехнического университета Алексей Кульневич - выпускник Северного (Арктического) федерального университета имени имени М. В. Ломоносова (г. Архангельск) - стал победителем олимпиады "Прорыв".
    202
  • 01/08/2017

    В РФ создано акустоэлектронное устройство с диапазоном в два раза больше, чем у аналогов

    ​Исследователи из Технологического института сверхтвердых и новых углеродных материалов в Москве и Сибирского федерального университета (СФУ) создали эффективное акустоэлектронное устройство на основе синтетических алмазов, сообщила в понедельник пресс-служба СФУ.
    198
  • 06/07/2016

    В Томском политехе разработали агроробота

    Ученые Юргинского технологического института (ЮТИ) Томского политехнического университета вместе со студентами разрабатывают агроробота, который сможет пахать землю, обрабатывать растения от вредителей и косить траву.
    898
  • 28/06/2016

    3D-технологии завоевывают мир

    ​Вслед за автомобилями с автопилотом на дороги выходят самоуправляемые маршрутки. Первенцем новой концепции стал микроавтобус "Olli", созданный компанией Local Motors в сотрудничестве с IBM.  Как сообщает 3Dtoday, Local Motors наиболее известна в качестве первого производителя 3D-печатных автомобилей, а IBM предоставила необходимое аппаратное и программное обеспечение для интеграции 3D-печатного транспорта в облачный искусственный интеллект IBM Watson.
    1056
  • 03/07/2017

    Абитуриенты Томского госуниверситета создали бота для Telegram, сообщающего результаты ЕГЭ

    ​Абитуриенты Владимир Лебедев и Денис Шарапов подали документы в ТГУ одними из первых. Для поступления они выбрали недавно созданный Институт прикладной математики и компьютерных наук. Такой выбор не был спонтанным - ребята давно уже занимаются программированием, а примерно месяц назад они создали бота для Телеграм, который сообщал о результатах ЕГЭ.
    273
  • 09/01/2017

    ТГУ создает 3D-фильм о раскопках курганов в тувинской Долине царей

    ​Сотрудники Томского госуниверситета (ТГУ) планируют в 2017 году выпустить фильм в 3D об археологических раскопках в тувинской Долине царей, сообщила РИА Томск завлабораторией "Артефакт" Ольга Зайцева.
    542
  • 27/03/2017

    Новосибирские ученые создали материал, обеспечивающий 30 лет непрерывной работы химического реактора

    Ученые из Института ядерной физики (ИЯФ) СО РАН и Новосибирского государственного технического университета (НГТУ) создали новую технологию сплавления титана и тантала, в результате чего получили особо стойкий к коррозии и агрессивным средам материал.
    679