На новом участке научно-образовательного центра (НОЦ) "Нанотехнологии" Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники проводится опытно-технологическая работа по созданию собственной технологии c использованием высокопроизводительной фотолитографии - базового технологического процесса для изготовления интегральной схемы с заданными характеристиками.

На новом участке научно-образовательного центра (НОЦ) "Нанотехнологии" Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники проводится опытно-технологическая работа по созданию собственной технологии c использованием высокопроизводительной фотолитографии - базового технологического процесса для изготовления интегральной схемы с заданными характеристиками.

Полученные таким образом интегральные схемы будут использоваться АО "НПФ "Микран"" в создании оборудования для авионики, систем радиолокации и связи. Новая технология позволит увеличить точность и производительность работы в несколько десятков раз.

Монолитная интегральная схема на основе арсенида галлия (GaAs МИС) - одна из важных составляющих электронной компонентной базы. Новая технология позволяет мультиплицировать элементы интегральной схемы с помощью фотошаблона на полупроводниковую пластину на специальной установке проекционной фотолитографии.

"В случае электронно-лучевой литографии, которой занимаются специалисты функционирующего уже несколько лет участка в НОЦ, электронный луч "рисует" каждый элемент схемы по всей пластине. Процесс создания рисунка на одной пластине может занять сутки, - пояснил директор НОЦ "Нанотехнологии" ТУСУРа Дмитрий Зыков. - Технология проекционной фотолитографии является высокопроизводительной и позволяет за несколько десятков секунд "зарисовать" всю площадь пластины".

Отработка технологии в настоящее время ведется на новом участке НОЦ "Нанотехнологии". В 2016 году для этих целей сюда поступила специальная установка. Как пояснили в центре, готовых решений для такого оборудования нет, поэтому перед специалистами стоит задача научиться "рисовать" на ней, настроить все необходимые параметры и задать программу работы.

Дмитрий Зыков, директор НОЦ "Нанотехнологии"

- Особенность в том, что здесь фотошаблон содержит более крупный по размеру чип или небольшую группу чипов, которые проецируются на полупроводниковую пластину с уменьшением масштаба в 5 раз. В новую установку можно загрузить несколько фотошаблонов разных слоев топологии МИС, она их спроецирует на одну пластину по заданной программе, автоматически совмещая слои между собой, таким образом, повышается точность взаимного расположения элементов МИС. Засветка одного чипа занимает доли секунды. Это дает увеличение производительности.

Еще один плюс собственной технологии - в ее управляемости, возможности настройки под определенные необходимые задачи.

В настоящее время специалисты НОЦ "Нанотехнологии" создают опытные образцы элементов интегральных схем.

По словам директора НОЦ "Нанотехнологии", в настоящее время работы находятся на стадии изготовления тестового транзистора - основного активного элемента интегральной схемы, определяющего ее параметры. Экспериментальные образцы таких транзисторов уже получены.

Похожие новости

  • 09/01/2017

    ТГУ создает 3D-фильм о раскопках курганов в тувинской Долине царей

    ​Сотрудники Томского госуниверситета (ТГУ) планируют в 2017 году выпустить фильм в 3D об археологических раскопках в тувинской Долине царей, сообщила РИА Томск завлабораторией "Артефакт" Ольга Зайцева.
    455
  • 04/10/2016

    В Airbus Safran Launchers заинтересовались созданным в Томске наноматериалом

    ​Airbus Safran Launchers (совместное предприятие авиакосмического концерна Airbus Group и французской корпорации Safran) заинтересовалась разработанной в Томском госуниверситете технологией получения наноматериала - легкого, как алюминий, и прочного, как сталь, сообщил завлабораторией высокоэнергетических и специальных материалов ВУЗа Александр Ворожцов.
    645
  • 07/07/2016

    В ТПУ разработали универсальный порошок для дактилоскопии

    ​Универсальный порошок для дактилоскопии разработали в Томском политехническом университете. Авторами идеи стали студенты Энергетического института ТПУ. Основные преимущества новой разработки - получение более четкого следа отпечатка и универсальность.
    753
  • 28/06/2016

    3D-технологии завоевывают мир

    ​Вслед за автомобилями с автопилотом на дороги выходят самоуправляемые маршрутки. Первенцем новой концепции стал микроавтобус "Olli", созданный компанией Local Motors в сотрудничестве с IBM.  Как сообщает 3Dtoday, Local Motors наиболее известна в качестве первого производителя 3D-печатных автомобилей, а IBM предоставила необходимое аппаратное и программное обеспечение для интеграции 3D-печатного транспорта в облачный искусственный интеллект IBM Watson.
    961
  • 03/07/2017

    Абитуриенты Томского госуниверситета создали бота для Telegram, сообщающего результаты ЕГЭ

    ​Абитуриенты Владимир Лебедев и Денис Шарапов подали документы в ТГУ одними из первых. Для поступления они выбрали недавно созданный Институт прикладной математики и компьютерных наук. Такой выбор не был спонтанным - ребята давно уже занимаются программированием, а примерно месяц назад они создали бота для Телеграм, который сообщал о результатах ЕГЭ.
    178
  • 02/06/2017

    Алтайский госуниверситет встречает молодых ученых - участников Всероссийского конкурса СНО

    ​1 июня Алтайский государственный университет встречает участников III Всероссийского конкурса студенческих научных обществ и конструкторских бюро, в котором примут участие более 60 студенческих научных объединений со всей России.
    341
  • 11/01/2017

    Топливный бак для водородного транспорта сохранит атмосферу Земли

    Массовый перевод автомобилей на водородное топливо позволит сократить эмиссию углекислого газа в атмосферу Земли - ведь при сжигании водорода образуется вода.  Однако широкого распространения "водородомобили" пока получить не могут, прежде всего, из-за отсутствия безопасных и удобных способов хранения водорода в топливной системе транспортного средства.
    508
  • 15/09/2017

    Метеорологи ТГУ используют новое оборудование

    ​На крыше шестого корпуса ТГУ установили автоматический измерительный комплекс, разработанный и подаренный университету сотрудниками Института мониторинга климатических и экологических систем СО РАН. Аппаратура без участия оператора производит непрерывное измерение и регистрацию многих физических параметров атмосферы: атмосферного давления, температуры и влажности воздуха, скорости горизонтального и вертикального перемещений воздуха, напряженности электрического поля и других.
    44
  • 06/07/2016

    В Томском политехе разработали агроробота

    Ученые Юргинского технологического института (ЮТИ) Томского политехнического университета вместе со студентами разрабатывают агроробота, который сможет пахать землю, обрабатывать растения от вредителей и косить траву.
    800
  • 07/08/2017

    Магистрант ТПУ будет разрабатывать алгоритмы для работы с большими данными

    ​Абитуриент Томского политехнического университета Алексей Кульневич - выпускник Северного (Арктического) федерального университета имени имени М. В. Ломоносова (г. Архангельск) - стал победителем олимпиады "Прорыв".
    118